- 分解能
- 0.2 nm
- 加速電圧
- 200 kV
- ヘリウムステージ
- ヘリウム保持時間：4時間
- 電子銃
- ZrO/W(100)FEG
- CCD Camera
- 2048x2048 pixel
- 特徴
- 試料温度を液体ヘリウム温度に保って観察が可能です。クライオトランスファー機構を備え、試料を急速冷凍後、外気にさらさずに導入可能です。
⇒ 利用例
- 空間分解能
- 0.1 nm (収差補正後)
- 加速電圧
- 200 kV
- 電子線分光器
- Ω型フィルタ / エネルギー分解能 0.8 eV
- 電子銃
- ZrO/W(100) ショットキー電子銃
- CCD Camera
- 2048x2048 pixel
- 収差補正装置
- CEOS Cs 補正装置(TEMモード用)
- 特徴
- TEM/STEM 両モードでの測定が可能です。試料加熱ホルダ、低温ホルダなど各種の試料ホルダが利用可能な汎用の分析電子顕微鏡です。
- 加速電圧
- 200 kV, 60 kV
- モノクロメータ
- ダブルウィーンフィルター
- 球面収差補正装置
- CEOS社製
- エネルギーフィルター
- Gatan966 QuantumERS
- EDX装置
- JED-2300T SDD100GV (JEOL製)
- 特徴
- EDX による原子分解能での元素マッピング、高エネルギー分解能のEELS測定などが可能です。
- SEM観察用電子銃
- 加速電圧 0.1-30 kV
分解能 1.2 nm (SEM) - 加工用Gaイオン源
- 1～30ｋV
最大電流 90 nA - 試料ステージ
- 常温・クライオステージ
試料室内マニピュレータ - 特徴
- FIB/SEM 一体型で加工・観察を行える装置です。
- 主としてセラミックスや金属などの比較的硬い試料を Ga イオンビームで切断し、薄片化することができます。
EDS分析、EBSD分析が可能です
表面を削りながら観察することによる3D分析が可能です
- イオン銃
- アルゴン 1-8 kV
- ミリングスピード
- 5 μm / min
- 試料ステージ
- -120℃ 8時間
- 特徴
- TEM/SEM 用断面試料作製
- 低温でアルゴンイオンビームによる断面加工を行う装置です。FIBのような複雑な形状の加工は出来ませんが、0.1 mm 厚の試料板からTEM試料作製することが可能です。また、FIB試料の仕上げ加工に使用することもできます（専用のメッシュが必要です）
- ステージ
- クライオステージ(室温～液体窒素温度)、室温
- 特徴
- 比較的柔らかい有機物などをダイヤモンドナイフで切削して薄片化し、電子顕微鏡試料を作製する装置です。