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文部科学省 マテリアル先端リサーチインフラ
京都大学 (計測・分析) 共用設備


KT-401: 極低温高分解能透過電子顕微鏡 / 日本電子 JEM-2100F(G5)
photo of TEM
分解能
0.2 nm
加速電圧
200 kV
ヘリウムステージ
ヘリウム保持時間:4時間
電子銃
ZrO/W(100)FEG
CCD Camera
2048x2048 pixel
特徴
試料温度を液体ヘリウム温度に保って観察が可能です。クライオトランスファー機構を備え、試料を急速冷凍後、外気にさらさずに導入可能です。

⇒ 利用例
KT-402: 球面収差補正透過電子顕微鏡 / 日本電子 JEM-2200FS
photo of TEM
空間分解能
0.1 nm (収差補正後)
加速電圧
200 kV
電子線分光器
Ω型フィルタ / エネルギー分解能 0.8 eV
電子銃
ZrO/W(100) ショットキー電子銃
CCD Camera
2048x2048 pixel
収差補正装置
CEOS Cs 補正装置(TEMモード用)
特徴
TEM/STEM 両モードでの測定が可能です。試料加熱ホルダ、低温ホルダなど各種の試料ホルダが利用可能な汎用の分析電子顕微鏡です。
KT-403: モノクロメータ搭載低加速原子分解能分析電子顕微鏡 / 日本電子 JEM-ARM200F
加速電圧
200 kV, 60 kV
モノクロメータ
ダブルウィーンフィルター
球面収差補正装置
CEOS社製
エネルギーフィルター
Gatan966 QuantumERS
EDX装置
JED-2300T SDD100GV (JEOL製)
特徴
EDX による原子分解能での元素マッピング、高エネルギー分解能のEELS測定などが可能です。
KT-408 デュアルビーム走査電子顕微鏡(FIB-SEM) / 日本電子 JIB-4700F
SEM観察用電子銃
加速電圧 0.1-30 kV
分解能 1.2 nm (SEM)
加工用Gaイオン源
1~30kV
最大電流 90 nA
試料ステージ
常温・クライオステージ
試料室内マニピュレータ
特徴
FIB/SEM 一体型で加工・観察を行える装置です。
主としてセラミックスや金属などの比較的硬い試料を Ga イオンビームで切断し、薄片化することができます。
EDS分析、EBSD分析が可能です
表面を削りながら観察することによる3D分析が可能です
KT-409 イオンスライサー / 日本電子 IB-09060CIS クライオイオンスライサー
イオン銃
アルゴン 1-8 kV
ミリングスピード
5 μm / min
試料ステージ
-120℃ 8時間
特徴
TEM/SEM 用断面試料作製
低温でアルゴンイオンビームによる断面加工を行う装置です。FIBのような複雑な形状の加工は出来ませんが、0.1 mm 厚の試料板からTEM試料作製することが可能です。また、FIB試料の仕上げ加工に使用することもできます(専用のメッシュが必要です)
KT-405 ミクロトーム / Leica社製 ULTRACUT UCT
ステージ
クライオステージ(室温~液体窒素温度)、室温
特徴
比較的柔らかい有機物などをダイヤモンドナイフで切削して薄片化し、電子顕微鏡試料を作製する装置です。
KT-406 精密イオン研磨装置 / Gatan社製 Model691/PIPS
Arイオン銃
0.1~5 kV (2系統)
試料ステージ
低温ステージ(室温~液体窒素温度)
特徴
収束イオンビーム装置やディンプリング装置で作製した試料の表面を Ar イオンピームで精密研磨する装置です。主に試料作製の仕上げに使用します。

★ 新規の課題は KT-409 クライオイオンスライサーの利用をお勧めいたします